中文名：五氟乙烷
別稱：五氟乙烷;氟利昂-125;五氟乙烷(HFC-125);五氟乙烷/HFC-125氫氟烴(HFC)
五氟乙烷（化學(xué)式：CF3CHF2），別名R-125，是一種制冷劑。它的臭氧破壞潛勢（ODP）為0，但全球暖化潛勢（GWP）很高。據(jù)美國國家環(huán)境保護局的報告，它的GWP為二氧化碳的3450倍。
| 純度 | 雜質(zhì)含量（ppm） | 鋼瓶 | 閥門 | 備注 |
| 99.99% | H2O≤10，N2≤85，O2≤15，acidity?(as?HF)≤1 | 47L | DISS716 | 35KG/瓶 |
用于電子工業(yè)等離子化學(xué)蝕刻
HFC-125可作制冷劑，是混合工質(zhì)的重要組份，用于替代CFC-502和HCFC-22；
五氟乙烷可以與二氟甲烷混合而成近共沸制冷劑——R-410A，這是一種在空調(diào)系統(tǒng)中替代多種氯氟烴（氟利昂）的制冷劑；
五氟乙烷還在滅火系統(tǒng)中用作滅火劑
健康危害：HFC-125是一種低毒性物質(zhì)，吸入毒性非常低；
吸入急救措施：迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸，就醫(yī)。
危險特性：常溫下HFC-125為穩(wěn)定的化合物質(zhì)，與銅、鐵、鋁等金屬相容，而與堿金堿土金屬不相容，與粉末Al、Zn，Be不相容，遇明火或高溫分解出有毒氣體HF、碳酰氟等。不發(fā)生聚合。
泄漏應(yīng)急處理：迅速撤離泄露污染區(qū)，人員至上風(fēng)處，并立即隔離，嚴格限制出入。切斷火源。建議應(yīng)急處理人員帶上自給正壓式呼吸器，穿一般防護服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴散漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗后再用。
儲存于陰涼、干燥、通風(fēng)的不燃倉間。遠離火種、熱源，防止陽光直射。儲存間內(nèi)的照明、通風(fēng)等設(shè)施應(yīng)采用防爆型，開關(guān)設(shè)在倉外。禁止使用易產(chǎn)生火花的機械設(shè)備和工具。平時要注意檢查容器是否有泄露現(xiàn)象。搬運時戴好鋼瓶的安全帽及防震橡皮圈，防止鋼瓶碰撞損壞。
工程控制：生產(chǎn)過程密閉，全面通風(fēng)；
呼吸系統(tǒng)防護：空氣中濃度較高時，應(yīng)視污染氣體濃度的高低和作業(yè)環(huán)境中是否缺氧來選擇自吸過濾式防毒面具（半面罩）或空氣呼吸器。
眼睛防護：戴一般安全防護眼鏡
身體防護：穿一般作業(yè)防護服
其他：工作現(xiàn)場禁止吸煙。避免高濃度吸入。
]]>產(chǎn)品名稱：氯化氫? HCl
其他名稱：鹽酸
無色，有毒，腐蝕性的不燃燒氣體，窒息性的氣味，對上呼吸道有強刺激，對眼、皮膚、黏膜有腐蝕。比重大于空氣 ，遇潮濕的空氣產(chǎn)生白煙，極易溶于水。液化瓶裝氣體，壓力為其蒸氣壓 (41.7 kgf/cm2 @21.1°C )。高純氯化氫主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)中，單晶硅片氣相拋光，外延機座腐蝕。
| 純度 | 雜質(zhì)含量（ppm） | 鋼瓶 | 閥門 | 備注 |
| 99.9990% | CO2≤1,N2≤1,O2≤?1,H2O≤1 | 48.8L | CGA330 | 25KG/瓶 |
| 440L | CGA634 | 250KG/瓶 |
常用作制染料、香料、藥物、各種氯化物及腐蝕抑制劑；
電池、藥品、染料、化肥、玻璃加工、金屬清洗、有機合成、腐蝕照像、陶器制造、食品處理、無機氯化物制造、橡膠、催化劑、電子氣、標準氣、外延、擴散、氧化、蝕刻、化學(xué)氣相淀積、發(fā)光二極管等。
氯化氫遇到潮濕的空氣冒白煙。煙的濃度與空氣的潮濕程度有關(guān)。和水的反應(yīng)產(chǎn)生大量熱量，形成腐蝕性極強的鹽酸。有刺激性的酸味，在極低的含量就可以檢測到(<5ppm)。直接接觸到皮膚會導(dǎo)致嚴重的灼傷。發(fā)生泄漏時應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并立即進行隔離，小泄漏時隔離150m，大泄漏時隔離300m，嚴格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿化學(xué)防護服。從上風(fēng)處進入現(xiàn)場。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴散。噴氨水或其它稀堿液中和。構(gòu)筑圍堤或挖坑收容產(chǎn)生的大量廢水。如有可能，將殘余氣或漏出氣用排風(fēng)機送至水洗塔或與塔相連的通風(fēng)櫥內(nèi)。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗后再用。
]]>化學(xué)式：BCl3
別稱：氯化硼
三氯化硼，危險化學(xué)品。主要用作半導(dǎo)體硅的摻雜源或有機合成催化劑，還用于高純硼或有機硼的制取。人類吸入、口服或經(jīng)皮膚吸收對身體有害?？梢鸹瘜W(xué)灼傷。另外，對環(huán)境亦有一定危害。
| 純度 | 雜質(zhì)含量（ppm） | 鋼瓶 | 閥門 | 備注 |
| 99.999% | O2≤10?,N2≤20,?CO≤5,?CO2≤5,CH4≤0.5,?SiCl4≤4,?Cl2≤0.2 | 47L | CGA660 | 20KG/瓶 |
可用以制造高純硼、有機合成用催化劑、硅酸鹽分解時的助熔劑、可對鋼鐵進行硼化，半導(dǎo)體的摻雜源，合金精制中作為除氧劑、氮化物和碳化物的添加劑。還可用來制造氮化硼及硼烷化合物。
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并立即隔離150米，嚴格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服。盡可能切斷泄漏源。若是氣體，合理通風(fēng)，加速擴散。噴霧狀水稀釋、溶解。構(gòu)筑圍堤或挖坑收容產(chǎn)生的大量廢水。如有可能，將殘余氣或漏出氣用排風(fēng)機送至水洗塔或與塔相連的通風(fēng)櫥內(nèi)。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗后再用。若是液體，用砂土、蛭石或其它惰性材料吸收。若大量泄漏，構(gòu)筑圍堤或挖坑收容；噴霧狀水冷卻和稀釋蒸氣，保護現(xiàn)場人員，但不要對泄漏點直接噴水。用防爆泵轉(zhuǎn)移至槽車或?qū)Ｓ檬占鲀?nèi)，回收或運至廢物處理場所處置。
呼吸系統(tǒng)防護：空氣中濃度超標時，佩戴自吸過濾式防毒面具（全面罩）。緊急事態(tài)搶救或撤離時，建議佩戴氧氣呼吸器。
眼睛防護：呼吸系統(tǒng)防護中已作防護。
身體防護：穿橡膠耐酸堿服。
手防護：戴橡膠手套。
其它：工作畢，淋浴更衣。保持良好的衛(wèi)生習(xí)慣。
包裝及儲存：雙頸玻璃瓶包裝
皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，用大量流動清水沖洗，至少15分鐘。就醫(yī)。
眼睛接觸：立即提起眼瞼，用大量 流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。
吸入：迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫(yī)。
食入：誤服者用水漱口，給飲牛奶或蛋清。就醫(yī)。
滅火方法：該品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。滅火劑：砂土。禁止用水或泡沫滅火。
]]>中文名：甲硅烷；? 英文名：Silane； 別稱：硅烷、四氫化硅、甲硅烷、甲矽烷
化學(xué)式：SiH4
硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物。目前應(yīng)用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。
在常溫常壓下為無色、有毒、非常活躍的壓縮氣體。在室溫下著火，在空氣或鹵素氣體中發(fā)生爆炸性燃燒。即使用其它氣體稀釋，如果濃度不夠低．仍能自燃。硅烷在氬氣中含2%、氮氣中含2.5%、氫氣中含1%時，它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時不燃，大于3%時自燃，1%～3%時可能燃燒。硅烷是強還原劑，與重金屬鹵化物激烈反應(yīng)，與氯、溴發(fā)生爆炸性反應(yīng)，與四氯化碳激烈反應(yīng)。因此對硅烷不能使用氟里昂滅火劑。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不與潤滑油、脂肪反應(yīng)。對幾乎所有的金屬無腐蝕性。有時，玻璃中的堿成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空氣也可發(fā)生爆炸。硅烷廣泛用于硅的外延生長、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太陽能電池，光導(dǎo)纖維，有色玻璃制造，化學(xué)氣相淀積。
| 純度 | 雜質(zhì)含量（ppm） | 鋼瓶 | 閥門 | 備注 | |
| 99.9999% |
|
48.8L | DISS632 | 12KG/瓶 | |
| 440L | DISS632 | 110KG/瓶 |
高純硅烷跟高純氨氣一起用于生產(chǎn)太陽能薄膜電池將硅分子附著于電池表面
跟高純乙烯一起用于LOW-E鍍膜玻璃的生產(chǎn)
高純硅烷應(yīng)用于大規(guī)模集成電路的外延生長工藝中用作硅源
應(yīng)用于國防、軍事工業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)
硅烷在平板顯示生產(chǎn)中也有重要的用途
用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD
使用硅烷的工作場所要通風(fēng)，保持室內(nèi)空氣干燥。硅烷裝置要嚴格密封，避免和空氣、水分相接觸，為此，用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空，這樣反復(fù)進行置換和抽真空，一定要徹底清除系統(tǒng)中的空氣和水分。裝置使用以后，也要用惰性氣體置換清洗系統(tǒng)中的硅烷?？梢杂煤ぬ铰┢魈铰?。少量硅烷泄漏時，從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)良好之處，要遠離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場所要配備足夠的防護用品及應(yīng)急用品。硅烷本身無腐蝕性，可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤滑油、玻璃。凡是可燃性的有機高分子材料應(yīng)該避免使用。當(dāng)硅烷大量泄漏時。緊接著就要著火，所以無法用滅火器滅火。但是可以控制火勢，使火災(zāi)不向周圍蔓延。燃燒時輻射熱不太高，所以應(yīng)盡可能去關(guān)閉閥門以止住氣體的流出?？捎冒籽┦刍蚴巯ɑ?。廢氣可用水或堿吸收，或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門的過濾器捕捉。儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。密閉操作，局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具（半面罩）。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
硅烷操作說明
用一個減壓器或獨立的控制閥安全地從氣瓶內(nèi)釋放硅烷。用單向閥來防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。
使用防火花工具。不要試圖對裝有硅烷的鋼瓶進行修理、調(diào)節(jié)或其他改動。
用氫離子檢測器監(jiān)測硅烷的修理和在空氣中的擴散，用紅外/紫外監(jiān)測器監(jiān)測火災(zāi) 。所以的監(jiān)測器都應(yīng)有內(nèi)鎖，一旦發(fā)現(xiàn)問題立即自動切斷硅烷氣源。
如果出現(xiàn)故障或其他操作問題，請立即與最近的分銷商聯(lián)系。
硅烷系統(tǒng)中不允許使用填壓閥，只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統(tǒng)中應(yīng)安裝過流閥或過流開關(guān)。這樣可以在下游管線發(fā)生爆炸時切斷氣源。這個開關(guān)閥應(yīng)安裝得離氣源越近越好。
如有可能應(yīng)避免單獨一個人操作鋼瓶。所有的操作都應(yīng)這樣進行,一旦發(fā)生泄漏，處理緊急情況的人員可以立即趕到。
監(jiān)測系統(tǒng)應(yīng)裝備備用或應(yīng)急電源。必須有遙控緊急開關(guān)，必要時可關(guān)閉硅烷氣源。
一定不要拉、滾動或滑動容器。用合適的手推車來移動容器，不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。保證氣瓶在使用的全過程中為固定狀態(tài)。
不可將工具(如：扳手，螺絲刀，等) 插入閥蓋內(nèi)。 否則會損壞閥門并引起泄漏。
一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過的系統(tǒng)連接好，應(yīng)緩慢仔細地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難，需停止使用，并與供應(yīng)商聯(lián)系。
使用可調(diào)節(jié)的帶扳手來打開過緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關(guān)設(shè)備接地。電器設(shè)備必須防火花和防爆。
]]>產(chǎn)品名稱：六氟丙烯
別稱：全氟丙烯/六氟丙烯(HFP)/1,1,2,3,3,3-六氟-1-丙烯
分子式：C3F6/ F2CCFCF3
危險標記：5（不然氣體）
類別：有害氣體
毒性分級：中毒
包裝：鋼質(zhì)氣瓶；安瓿瓶外普通木箱。
六氟丙烯，無色無臭氣體，微溶于乙醇、乙醚。 強氧化劑、易燃或可燃物。
| 純度 | 雜質(zhì)含量（ppm） | 鋼瓶 | 閥門 | 備注 |
| 99.9000% | Evaporation?Residue?≤?20, | 47L | JIS22L | 30KG/瓶 |
| Saturated?Perfluoro?≤?0.1?% | ||||
| C3HF5?≤?0.1?%,?H2O?≤?20,?Acidity?(as?HF)?≤?1.0 |
該品是合成含氟高分子材料（如氟橡膠F20-41、F246和氟塑料F46等）的單體之一；制備氟磺酸離子交換膜、氟碳油和全氟環(huán)氧丙烷等的原料；制備多種含氟精細化工產(chǎn)品、藥物中間體、滅火劑等，還可制得含氟高分子材料
采用剛瓶運輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放，并應(yīng)將瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超過車輛的防護欄板，并用三角木墊卡牢，防止?jié)L動。嚴禁與易燃物或可燃物、氧化劑等混裝混運。夏季應(yīng)早晚運輸，防止日光曝曬。鐵路運輸時要禁止溜放。
1.侵入途徑: 吸入? 食入? 經(jīng)皮吸收? 健康危害:生產(chǎn)工人短時間吸入較多的六氟丙烯，有頭昏、無力、睡眠欠佳等癥狀。
應(yīng)對措施：迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人 工呼吸。就醫(yī)。
2.環(huán)境危害:對大氣可造成污染。
3.燃爆危險:本品不燃。
一、泄漏應(yīng)急處理
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗后再用。
二、防護措施
呼吸系統(tǒng)防護：空氣中濃度較高時，應(yīng)視污染氣體濃度的高低和作業(yè)環(huán)境中是否缺氧來選擇過濾式防毒面具(全面罩)或自給式呼吸器。
眼睛防護：一般不需特殊防護。
身體防護：穿一般作業(yè)工作服。
手防護：戴一般作業(yè)防護手套。
其它：工作現(xiàn)場嚴禁吸煙。注意個人清潔衛(wèi)生。
三、急救措施
皮膚接觸：脫去污染的衣著，用肥皂水及清水徹底沖洗。
眼睛接觸：立即翻開上下眼瞼，用流動清水沖洗。就醫(yī)。
吸入：迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫(yī)。
食入：誤服者立即漱口，飲足量溫水，催吐，就醫(yī)。
]]>產(chǎn)品名稱：三氟甲烷
別稱：三氟甲/氟仿/氟里昂-23/HFC-23滅火劑
分子式：CHF3
管制類型：不管制
儲??? 存：密封保存
包裝：采用鋼瓶充裝，35KG/瓶，也可根據(jù)用戶要求提供不同包裝。
| 純度 | 雜質(zhì)含量（ppm） | 鋼瓶 | 閥門 | 備注 |
| 99.9990% |
O2?≤?1.0,?N2?≤?8.0,?H2O?≤?5.0,?Acidity?(as?HF)?≤?0.4, other?Flons?≤?10,?CO2?≤?5.0 |
47L | CGA660 | 35KG/瓶 |
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三氟甲烷，又稱三氟甲，是一種無色、微味，不導(dǎo)電的氣體，是理想的鹵代烷替代物。
三氟甲烷，又稱HFC-23，是一種高壓液化汽，可用作制冷劑，替代CFC-13（R13）。也可作為電子工業(yè)等離子體化學(xué)蝕刻劑及氟有機化合物的原料。
本產(chǎn)品包裝鋼瓶為帶壓容器，運載中應(yīng)避免撞擊、摔落。儲存于陰涼、通風(fēng)的不燃氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與氧化劑、易（可）燃物分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴散。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗后再用。
呼吸系統(tǒng)防護：空氣中濃度料高時，建議佩戴自吸過濾式防毒面具(半面罩)。
眼睛防護：一般不需特殊防護。
身體防護：穿一般作業(yè)工作服。
手防護：戴一般作業(yè)防護手套。
其它：避免高濃度吸入。進入罐、限制性空間或其它高濃度區(qū)作業(yè)，須有人監(jiān)護。
吸入：迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫(yī)。
滅火方法：本品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。
]]>產(chǎn)品名稱：二氟甲烷
別稱：二氟化碳、HFC-32、R-32
分子式：CH2F2
二氟甲烷，是一種鹵代烴（化學(xué)式：CH2F2），簡稱R32,也是鹵代甲烷的一種。它是甲烷的四個氫原子中的兩個被氟原子代替形成的化合物。
| 純度 | 雜質(zhì)含量（ppm） | 鋼瓶 | 閥門 | 備注 |
| 99.9900% | O2+N2≤?50?,?H2O?≤?29?,?Acidity?(as?HF)?≤?0.3?,
Other?Flons?≤?10 |
47L | JIS22L | 10KG/瓶 |
二氟甲烷是一種擁有零臭氧損耗潛勢的冷卻劑。二氟甲烷與五氟乙烷可生成一種恒沸混合物（稱為R-410A），用作新冷卻劑系統(tǒng)中氯氟碳化合物（亦稱為Freon）的代替物，主要是替代 HCFC-22 ，作復(fù)配中低溫混合制冷劑。雖然它是零臭氧損耗潛勢，但它有高全球變暖潛能，以每100年時間為基礎(chǔ)，其潛能是二氧化碳的550倍。
二氟甲烷是一種可燃性氣體，在空氣中燃燒極限為14%~31%（體積比），常溫下HFC-32結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，不易分解，但遇明火、高溫時分解為HF、碳酰氟等。
吸入：迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫(yī)。
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并立即隔離，嚴格限制出入。切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿消防防護服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴散。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗后再用。
]]>產(chǎn)品名稱：三氟化氮 | ?化學(xué)式：NF3
純凈的NF3氣體是一種無色無味的氣體，當(dāng)混入一定量的雜質(zhì)氣體后顏色發(fā)黃，同時會有發(fā)霉或刺激性氣味。NF3氣體不可燃，但能助燃。當(dāng)溫度超過350℃時，三氟化氮氣體會緩慢分解，分解時產(chǎn)生強氧化性氟，因此，在高溫下它是一種強氧化劑。
| 純度 | 雜質(zhì)含量（ppm） | 鋼瓶 | 閥門 | 備注 |
| 99.99% | O2+Ar≤5,N2≤5，CO2≤2，H2O≤1，CO≤2，HF≤1，SF6≤2，CF4≤40，N2O≤2 | 48.8L | DISS640 | 20KG/瓶 |
| 440L | DISS640 | 200KG/瓶 |
危險性類別：第2.3類有毒氣體，在空氣中的最高允許含量為29mg/m3。
產(chǎn)品純度:?99.99%~99.995%
三氟化氮是用作氟化氫－氟化氣高能化學(xué)激光器的氟源，在h2-O2 與F2之間反應(yīng)能的有效部分（約25％）可以以激光輻射釋放出，所HF-OF激光器是化學(xué)激光氣中最有希望的激光氣。三氟化氮是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。隨著納米技術(shù)的發(fā)展和電子工業(yè)大規(guī)模的發(fā)展技術(shù)，它的需求量將日益增加。
如遇有NF3氣體泄露，工作人員要馬上撤離泄漏污染區(qū)，并盡可能采取措施阻止NF3氣體的進一步泄露。如有工作人員中毒，應(yīng)立即送往醫(yī)院救治。泄露現(xiàn)場要盡快處理，處理泄露現(xiàn)場的工作人員必須配戴必要的防毒面具，最好是自給正壓式呼吸器。泄露現(xiàn)場經(jīng)檢測無危害氣體后方可進入工作人員，泄露容器必須經(jīng)仔細檢查、維修或妥善處理好后方可繼續(xù)使用。NF3氣瓶應(yīng)儲存于陰涼、通風(fēng)倉庫內(nèi)，倉庫溫度不宜超過30℃。NF3氣瓶應(yīng)遠離火種、熱源、防止陽光直射，與還原劑、易燃或可燃物等分開存放。NF3氣瓶在搬運時要輕裝、輕卸，防止鋼瓶及附件破損。NF3氣瓶的運輸按危險品運輸。運輸時用氣瓶固定架將NF3氣瓶固定好，用汽車公路運輸或用輪船集裝箱運輸。
]]>產(chǎn)品名稱：氯氣
分子式：Cl2
包裝容器：鋼瓶
氯氣理化性質(zhì)
氯氣，化學(xué)式為Cl2。常溫常壓下為黃綠色，有強烈刺激性氣味的有毒氣體，密度比空氣大，可溶于水，易壓縮,可液化為金黃色液態(tài)氯，是氯堿工業(yè)的主要產(chǎn)品之一，可用作為強氧化劑。氯氣中混和體積分數(shù)為5%以上的氫氣時遇強光可能會有爆炸的危險。氯氣能與有機物和無機物進行取代反應(yīng)和加成反應(yīng)生成多種氯化物。氯氣在早期作為造紙、紡織工業(yè)的漂白劑。
| 純度 | 雜質(zhì) | 鋼瓶 | 閥門 | 重量 |
| ≥99.9999 | H2O≤1，CO2≤1，N2≤1，O2≤1，CH4≤0.5，H2≤0.1，CO≤1 | 48.8L | CGA660 | 50KG/瓶 |
| 440L | CG728 | 500KG/瓶 |
①消毒（自來水常用氯氣消毒，1L水里約通入0.002g氯氣，消毒原理是其與水反應(yīng)生成了次氯酸，它的強氧化性能殺死水里的病菌。而之所以不直接用次氯酸為自來水殺菌消毒，是因為次氯酸易分解難保存、成本高、毒性較大，則用氯氣消毒可使水中次氯酸的溶解、分解、合成達到平衡，濃度適宜，水中殘余毒性較少。）
②制鹽酸
③工業(yè)用于制漂白粉或漂粉精。
④制多種農(nóng)藥（如六氯環(huán)己烷，俗稱666。）
⑤制氯仿、四氯化碳等有機溶劑
⑥制塑料（如聚氯乙烯塑料）等 Cl2可用來制備多種消毒劑，含Cl的消毒劑有ClO2,NaClO,Ca(ClO)2。
⑦常用于將FeCl2氧化成FeCl3
⑧工業(yè)用于海水提溴（Cl2+2NaBr==Br2+2NaCl)
皮膚接觸: 脫去污染的衣著，立即用水沖洗至少15分鐘。若有灼傷，按酸灼傷處理。
眼睛接觸: 立即提起眼瞼，用流動清水或生理鹽水沖洗至少15分鐘。
吸入: 迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。呼吸困難時給輸氧。給予2～4%碳酸氫鈉溶液霧化吸入。就醫(yī)。
食入: 立即就醫(yī)
工程控制: 嚴加密閉，提供充分的局部排風(fēng)和全面排風(fēng)。
呼吸系統(tǒng)防護: 空氣中濃度超標時，必須佩帶防毒面具。緊急事態(tài)搶救或逃生時，建議佩帶正壓自給式呼吸器。
眼睛防護: 戴化學(xué)安全防護眼鏡。
防護服: 穿相應(yīng)的防護服。
手防護: 戴防化學(xué)品手套。
]]>產(chǎn)品名稱：一氧化二氮
別稱：笑氣/氧化氬氮
分子式：N2O
一氧化二氮（Nitrous Oxide），又稱笑氣，無色有甜味氣體，是一種氧化劑，化學(xué)式N?O，在一定條件下能支持燃燒（同氧氣，因為笑氣在高溫下能分解成氮氣和氧氣），但在室溫下穩(wěn)定，有輕微麻醉作用，并能致人發(fā)笑。
| 氣體 | 純度 | 雜質(zhì)含量（ppm） | 鋼瓶 | 閥門 | 備注 |
| N2O | 99.9995% | H2O≤1，CO2≤0.5，N2≤1.5，O2 +Ar≤0.5，CH4≤0.1,，CO≤0.1 | 47L | CGA326 | 27KG/瓶 |
| 440L | DISS712 | 270KG/瓶 |
注：一氧化二氮是一種無毒、無色、不可燃的儲存于鋼瓶中的液化壓縮氣體；其存儲壓力為其蒸汽壓。
1.作為一種檢漏劑、制冷劑、以及用作原子吸收光譜用的助燃劑。
2. 在噴燈中用作氧化劑。在半導(dǎo)體器件制造工藝中，用作平衡報或保護氣，在化學(xué)氣相淀積（CVD）工藝中，用于制備摻雜二氧化硅膜。
3. 一氧化二氮還廣泛用于壓力包裝領(lǐng)域，并在該領(lǐng)域中作為不同懸浮微粒產(chǎn)品的推進劑
4 .在食品工業(yè)中，大量用作生奶油的泡沫噴射劑和食品的密封劑。在食品浸沒冷凍中用作冷凍氣體和冷凍液體。
5.在醫(yī)療行業(yè)，用于 牙科手術(shù)的麻醉
6.一氧化二氮也可作為賽車加速器中的助燃劑
操作的管理：密閉操作，提供良好的自然通風(fēng)條件。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴格遵守操作規(guī)程。遠離火種、熱源，工作場所嚴禁吸煙。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與還原劑接觸。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
儲存的管理：儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30 ℃。應(yīng)與易（可）燃物、還原劑分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
運輸?shù)墓芾恚?/strong>采用鋼瓶運輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放，并應(yīng)將瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超過車輛的防護欄板，并用三角木墊卡牢，防止?jié)L動。嚴禁與易燃物或可燃物、還原劑等混裝、混運。夏季應(yīng)早晚運輸，防止日光曝曬。鐵路運輸時要禁止溜放。
廢棄的管理：處置前應(yīng)參閱國家和地方有關(guān)法規(guī)。廢氣直接排入大氣。
一氧化二氮(氧化亞氮)貯存方法：
1.笑氣應(yīng)貯存于陰涼、通風(fēng)倉庫內(nèi)，倉溫不宜超過30 ℃。遠離火種、熱源。
2.一氧化二氮應(yīng)與易燃、可燃物分開存放。運輸按規(guī)定路線行駛，中途不得停駛。
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